参数：

• 样品台：

1. 样品台尺寸：φ160mm
2. 最大工件尺寸：φ200mm
3. 最大工件厚度：52mm
4. 最大工件重量：2kg
5. 倾斜调整范围：±2°(±5mm/160mm)
6. 样品台材质：黑色硬质铝
7. 手动旋转：360°(手动粗调)、±5°(微调，最小约0.5°)

• 传感器（pick up）：

1. 原理：直动式传感器 （业界唯一）
2. Z方向测定范围：Max. 600µm
3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时)
4. 测定力： 10uN ~500uN
5. 触针半径：2 µm 60° 钻石针头 （另有多种可选）
6. 驱动方式：直动式
7. 再现性：1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)三、X 轴 (基准轴/测量轴)：

1. 移动量(最大测长)：100mm (±50mm)
2. 真直度：0.2µm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)
3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s
4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1µm
5. 位置重复误差：±5um

• Z轴：

1. 移动量：54mm
2. 移动速度：max.2.0mm/S
3. 检出器自动停止机能

• Y轴：（手动定位用）

1. 移动量：25mm（±12.5mm）

• 工件观察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物镜倍率
2. 综合倍率：约320倍 (使用19” monitor时)
3. 视野：1.2*0.9mm
4. 观察方向：右侧斜视
5. 照明：白色LED（可使用软件调整明暗度）

• 软件功能简介：

1. 型号：i-STAR31
2. 可设定测量条件菜单、重复测量设定、解析菜单
3. 可设定下针座标，实现定位后自动测量及解析功能
4. 可设定低通滤波，过滤噪音及杂讯
5. 具有返回测量启始点功能
6. 显示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、纵方向1~10,000倍
7. 解析功能：主要图型、段差解析、粗糙度解析、内应力分析、内建多种段差解析菜单可选

• 床台：一体花岗岩
• 防振台(选购)：落地型或桌上型
• 电源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA
• 本体外观尺寸及重量：

W500×D440×H610mm, 120kg，一体花岗岩低重心结构

(不含防震台)