微光显微镜

LUXETInGaAs100是一款微光显微成像系统。配备了全自动运动系统、深度制冷型InGaAs相机、不同倍率的显微镜头以及锁相测量模式，可以适用于半导体器件的失效点定位。
LUXETThermo100是一款全国产化的锁相红外显微成像系统。配备了全自动运动系统、高灵敏度制冷型中波红外相机、广角镜头与大倍率显微镜头、高压源表，可以适用于晶圆、电路板等多种不同种类器件的失效点定位。