MPI半自动探针台

适用于多种晶圆量测应用
· 模块量测-DC-IV/DC-CV/Pulse-IV
· 射频和毫米波-26 GHz至 110 GHz及以上
· 失效分析-探针卡／节间探测
· 可靠性测试-热/冷/长时间测试
· 高功率测试-至高10kV/600A
MPIShielDEnvironmentTM屏蔽环境
· 专为 EMl/RFI/Light-Tight屏蔽所设计的精密量测环境
· 支援飞安级低漏电值量测
· 温度量测范围-60°℃至300°℃
工效学设计及弹性选配
· 便利的晶圆单片上片，搭配简单快速的晶圆预对准功能，实现自动化流程简单化
· 垂直点测控制环境(Vertical ControlEnvironment,VCETM)，方便安全有效地侧面观察点测区域
· 内建防震系统
· 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量测操作
· 安全测试管理系統(Safety Test Management, STMTM）选配，方便在任意温度进行上片/下片，并自动进行露点控制